Como usar um SEM Calibração Grade

Quando precisamos saber exatamente o quão pequeno micro-objetos são , contamos com um microscópio eletrônico de varredura (MEV) . Análise precisa do mundo microscópico exige uma medição precisa , o que é possível através de um processo de calibração. Grelhas de calibração são objectos modelado com dimensões bem documentados que podem ser usados ​​para determinar a precisão de um SEM de ampliação . Uma vez calibrado , o SEM torna-se uma poderosa ferramenta de análise que podem ser usados ​​para resolver casos forenses , ajudar na pesquisa médica e ajudar os cientistas a desvendar os mistérios do mundo invisível que vivemos in.Things Você vai precisar de

Condutora cimento

ar enlatado

Micron governante

Calculadora

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1

Mount a amostra de grade padrão de calibração em um suporte de SEM utilizando cimento condutor SEM- aprovado. Permitir que o cimento secar.

2

Use o ar seco , enlatado para remover todos os traços visíveis de poeira na superfície da grade.

3

Monte o stub em a fase de amostra SEM . Colocar a superfície da amostra perpendicular ao feixe de electrões . Siga as especificações do fabricante para evacuar a câmara de amostra para atingir um vácuo de trabalho satisfatório.

4

Desativar todas as correções automáticas para inclinação e rotação de digitalização . Quaisquer rotações necessárias durante a calibragem deve ser feita manualmente .

5

Selecione as condições de funcionamento , incluindo a distância de trabalho , diferença de potencial e gama de ampliação , para o qual é necessária a calibração de ampliação.

6

Foque a imagem da rede no monitor SEM, e girar a amostra em uma posição onde as linhas teste padrão de grade estão alinhados com o X e Y eixos do monitor. Ajuste o contraste para que as linhas de grade estão claramente definidos. Gravar e imprimir a imagem , garantindo que o indicador de ampliação é incluído na impressão .

7

Use uma régua micron para medir a distância entre as linhas de campo grade adjacentes nos X e Y instruções na impressão. Repita esta medição 3-5 vezes em vários pontos sobre a imagem, e calcular o espaçamento médio entre as linhas de grade.

8

Calcule a ampliação corrigido dividindo a média medida espaçamento de linha pela especificação espaçamento padrão fornecida pelo fabricante da grelha de calibragem . Compare a ampliação corrigido para o indicador de ampliação que aparece no monitor para determinar o erro do indicador de ampliação.